第九十一章，激光平面干涉測量儀

    精磨完畢的鏡片只完成了工作量的15%~20%，之後是拋光-清洗，循環數次。磨邊、鍍膜、有的鏡片組合需要在車間膠合。



    “拋光粉這個小輔料也確實不簡單，我們1952年開始做的時候低估拋光粉的重要性了，”總工說，“第一批生產的拋光粉並不好用，磨壞了一批鏡片，還好只是蘇六的鏡片。”



    “七車間使用的拋光粉規格在全廠最高，我們是在今年2月才做出來的，此前直到1955年1月，我們都在用蘇聯進口的氧化鈰拋光粉。”



    拋光粉首先要求是顆粒度絕對均勻，硬度要稍大於被拋光材料的硬度。光刻機光學鏡頭用的是質地較硬的玻璃，拋光粉得用氧化鈰材質，直徑略粗。



    除了顆粒度絕對均勻，還要求無雜質，具有一定的晶格形態及缺陷，有適當的自銳性。



    在加工光刻機鏡片時，俗稱“紅粉”的氧化鐵拋光粉就不能滿足要求了，從1952年到1955年，長光還分出一組人去研製氧化鈰拋光粉，三年乃成。



    而且，玻璃表面的拋光不只用拋光粉一種原料，還有一種原料叫做拋光膠。玻璃表面的加工，先上拋光粉，再上拋光膠。



    長光加工光刻機鏡片，第一次用松香拋光膠，精度不達標，失敗。現在換上的是瀝青-松香混合拋光膠。



    ……



    七車間的盡頭，也是整個光學系統製造車間最高技術含量的地方，無塵精拋室。



    在這裡，唐華、王大衍、總工先去更衣室，換衣服換鞋、清潔全身、戴泳帽、戴口罩，就跟在隔壁光刻機工廠進入生產線時一樣。



    第一臺非接觸式光刻機昨天試運行時的工藝製程是10微米，和現在北京、上海的上一代生產線一樣，不過這臺光刻機還有提升的潛力，或許可支持7微米甚至5微米制程。



    這個無塵精拋室裡面，鏡面加工的精度要求是1微米。



    因此不得不把車間做成絕對無塵的潔淨環境。灰塵、煙霧、頭皮屑甚至口水都有可能報廢已加工了幾個小時的高精密拋光面。



    三人進入無塵精拋室，新設備也帶進來了，唐華和王大衍一人拉一個小車往車間的工作位走。



    “長光為光刻機系統生產至關重要的零件。你們生產產品的工藝標準，可以說在很大程度上決定了光刻機所能達到的工藝天花板，也就決定了我們的計算機系統有多先進。”



    唐華對總工說話。



    “換句話說，我們的計算機系統的技術進步或者技術革命，必須建立在長光、長光七車間的技術進步、技術革命之上。”



    “好在當今工業體系的每一個類別每一個部門相互之間都是有聯繫的。就像我剛才說的，光學儀器生產廠和計算機產業已經產生了聯繫，但我要強調的是，光學儀器和計算機產業的聯繫不是單向的，而是雙向的。”



    “光學儀器生產廠為計算機產業提供了工作母機，相應地，計算機產業也能反過來支持光學儀器廠，幫助你們技術進步、技術革命。這算是反哺，也算是產業技術進步的大回旋。”



    到了精拋室的拋光工位，唐華和王大衍將小車停下來，整理兩臺小車上放置的設備：



    激光平面干涉測量儀。



    ……



    “激光平面干涉儀是一種非接觸式、高精度無損光學表面測量設備。它基於菲索干涉也就是移相干涉原理，通過分析干涉條紋來確定光學表面面形。”



    “激光平面干涉儀可以用於高精度的平面面形、球面面形曲率半徑測量和分析。可以做平面楔角測量，也就是給直角稜鏡測量直角偏差。其實它也能測量任意角度的加工偏差。還可以做光學材料均勻性測量，角錐角度和麵形偏差測量……其實你們廠特別是七車間很多地方都能用到它，你們看到的是第一臺產品，接下來蘇州方面會有十幾臺干涉儀往長春送。”



    唐華現場向總工、車間主任、技工們講解激光平面干涉儀的原理和結構。



    “這是激光平面干涉儀的主機，包含高精機械調節架、氦氖激光電源、倍率成像測微系統。這是透檢工作臺、這是300毫米的光學平面樣板。”