第六十五章 從修路開始

    葉舟跟著陳昊走進會議室，他在參會的眾人中認出了許多熟悉的面孔，其中甚至還有國內半導體工業祖師爺級別的人物，王芹生。

    看到他進來，所有人都站起身來向他示意，葉舟有些尷尬地站在原地，一時間不知道說什麼好。

    最後還是王芹生打破了沉默。

    “年少有為啊！之前還不敢相信，這兩天聽了你談話記錄，無論是思路還是技術，都要超過我們這幫老頭子太多了，不服老不行！”

    “王老太抬舉我了......”

    葉舟連忙客氣道。

    “不是抬舉！咱們做研究的講究實事求是，你拿出來的東西，我們這群人幾乎已經搞了一輩子了，可是直到現在都還沒有搞出完整的技術來。”

    “既然你拿出來了，那就受得起這份榮譽！”

    “不過，話說回來，我覺得你的設想裡還是有很多不全面的地方，來，坐下來，我們好好聊聊......”

    一邊說著，王芹生一邊指了指他身邊的座位示意葉舟過去，葉舟也不便推辭，便走到他身邊坐下。

    “你在製造光刻機制造環節提出的通過六雲臺同步取代傳統雙同步的設計理念，我覺得很新穎！但是，單向三雲臺的協作算法中，我有一部分沒有看懂，現在也只是單純地按照你的構思去做了，實際好不好用不知道，能給我簡單講講嗎？”

    所謂的同步，其實指的是光刻機內部兩個工作臺的同步，這兩個工作臺必須始終以相同的速度運動，誤差要控制在2nm之內，而進入到亞納米級別的蝕刻時，同步率更是要求達到百分之一納米以下。

    葉舟從模擬器中提取到的思路是，改變傳統中雙工作臺的模式，改用六個精密陀螺儀來實現六雲臺同步，每個雲臺只負責單向運動，避免往復過程中的停頓所產生的極微小誤差。

    但是，要做到這一點，就要求每個雲臺間的協作極為精密，針對每一個雲臺都要設置獨立控制代碼，而六套控制代碼又需要相互關聯，對算法的要求極高。

    好在雲歸在吸收eda的相關知識後，對算法的理解已經達到了一定深度，這時便挑了設計中的幾個重點給王芹生講清楚，聽得他連連點頭。

    “說實話，我其實沒怎麼聽懂，在算法這一塊我實在是太外行了，不過按你的解釋，理論上應該是走得通的，我們且試試看。”